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高精度镀膜仪

2018-11-27          发布:[科学研究院]张帅

设备型号:EMACE 600

性能指标:

       (1)溅射工作真空范围:5 × 10–3 mbar 5 ×10–1 mbar

  (2)溅射电流:0–150 mA

          (3)溅射时间:可预设溅射时间,一次真空条件下总溅射时间可设置长达60分钟;

  (4)蒸发电流:1–75 A

主要功能:具有在样品表面镀碳或铂金的功能,用于为SEM/EDS微区成分分析的样品镀碳膜和铂金膜,消除电镜观察过程中样品表面的电荷积累。

C80A5617