场发射扫描电子显微镜（FESEM）

2018-11-27          发布：[科学研究院]张帅

设备型号：Supra 55

性能指标：

电镜：（1）分辨率：0.8 nm @ 15 kV; 1.6 nm @ 1 kV; 4.0 nm @ 0.1 kV；

　　（2）放大倍数：12–1000000 x；

　　（3）加速电压：0.1–30 kV。

能谱仪：（1）分辨率：Mn–Kα 优于129 kV；

　　（2）探测元素范围：Be(4)–U(92)。

EBSD：（1）空间分辨率：100 nm @ 20 kV；

　　（2）平均角偏差＜0.5°。

阴极发光探测器：（1）配合场发射扫描电镜，可获得样品的真彩色阴极荧光图像；

　　（2）具有数字扫描电子束控制系统DigiScan II；

　　（3）探测波长范围：400–800 nm。

主要功能：扫描电镜广泛用于各种领域，在地学中可用于矿物、岩石的微区形貌和微区成分分析。其中微区成分分析包括快速多元素的点分析、线扫描和面扫描分析。